振镜激光扫描振镜G3 Ult振镜

主要配置

标刻速度：5000mm/s

定位速度：16000mm/s

1%全行程：≤0.26ms

10%全行程：≤0.62ms

非线性度：<1mrad/44°

重复精度：<2μrad

增益漂移：<50PPM/k

零位漂移：<25μrad/k

8小时漂移：<0.1mrad

扫描角度：±0.35rad

镜片光斑：10mm

接口协议：XY2-100

供电：±15VDC，

重量：2100g

工作温度：25℃±10℃

分辨率：16bit

入射孔径：10mm

波长：10600nm、1064nm、532nm、355nm

 

典型应用

G3 Ult振镜可用于半导体、耳切割、3C电子、脆性材料切割、3D打印等。