标刻速度:4000mm/s | 定位速度:10000mm/s | 跟踪误差:0.25ms |
非线性度:<3.5mrad/44° | 重复精度:<8μrad | 1%全行程:≤0.4ms |
增益漂移:<50ppm/K | 零位漂移:<15μrad/K | 8小时漂移:<0.3mrad |
扫描角度:±0.35rad | 镜片光斑:10mm | 通讯协议:XY2-100 |
供电电源:±15V DC,3A | 工作温度:25℃±10℃ | 波长:1064nm、532nm、355nm |
扩束比:1.4、1.4、3 | 入射光斑:7mm、7mm、3mm | 变焦范围:光纤 ±30mm(搭配 F254-174场镜数据) |
绿光 ±7mm(搭配F165-115场镜数据) | ||
紫外 ±15mm(搭配F254-175场镜数据) | ||
加工幅面:150(可换场镜) | ||
100(可换场镜) | ||
150(可换场镜) |
G3-3D振镜可用于模具加工、曲面标刻、浮雕、深雕、表面处理等。